高灵敏度气体检测仪

产品的核心技术是光腔衰荡光谱法，仪器的监测精度可达到1×10-9以上，主要用于气体中痕量元素的检测。技术领先国际，并填补了国内空白。仪器的应用领域包括半导体制造业，液晶平板显示器(LCD)、光电子器件(LED)制造业，太阳能光伏产业，气体制造工业，化学工业，电力系统，国家计量系统，科研机构，环保行业等。产品推出后不再依赖进口，并打入国际市场。目前已进入华为、法液空、空气化工、中芯国际等供应商的名单。

【产品图片】

图1 高灵敏度气体分析仪

图2 仪器的硬件电路板

图3 软件控制主界面

图4 光腔及支撑件

【与国外同类技术产品对比情况】

技术对比情况：相当

价格对比情况：低于

国外技术产品厂家及名称：美国虎威光学（TIGER OPTICS）公司

1.检测精度0.2×10-9

2.背景气体：氮气、氦气、氩气、氧气、氢气等

3.检测下限小于1.0×10-9

4.响应速度：T90小于60秒